整体大理石基座，底部采用光学平台固体阻尼支架，上银C5滚珠丝杠驱动，20重载型导轨，选用中惯量松下伺服电机
控制选用三菱PLC，外接触摸屏
整体重复定位精度可达±1um，整体负载50kg，整体采用特殊防水装置，可满足打磨时的防水
