3D线扫检测平台

 

整体结构由横移轴,旋转轴组成二维运动平台,工件放置于旋转工位上调整工件姿态,由3D线扫相机进行线扫,平移轴最高重复定位精度≤±0.1um,旋转轴最高重复定位精度≤±2arcsec;

适用于:多姿态调整,搬运等