大理石精密运动平台

设备主体由方钢焊接底座，大理石台面，大理石定龙门架组成，运动部件由直线电机十字滑台，丝杠升降平台组成；其中方钢底座焊接完成后上龙门铣床，统一飞面确保安装平面度，将00级大理石台面安装于台面上，大理石可隔绝高频振动，使电机运行更加平稳；

直线电机XY十字滑台，有效行程150*150mm，重复定位精度±0.8um，定位精度±1.5um，XY直线度≤3um，运动俯仰角/偏摆角≤6″；Z轴采用蜗轮蜗杆外加滚珠丝杠结构，行程20mm，重复定位精度2um；

适用于：精密玻璃切割，晶圆划片，检测，精密打标等行业。