设备主体结构由四块00级大理石组成，基座，立柱A，立柱B，平移轴；其中立柱轴增加外部配重，配合高惯量带刹车伺服电机，可支撑升降轴实现稳定运行，设备选用研磨级丝杠做传动，重载型H级导轨做支撑导向，重复定位精度≤5um，直线度≤8um；使得设备整体精度能满足要求的同时负载可达500kg；
该设备还可进行各轴行程及电机类型定制，可将任意轴更换为直线电机或丝杠模组，可外接光栅尺，实现全闭环控制，精度有更优的提升。
